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进口小型旋涂机SPIN150i是150mm单片旋涂机-辅光仪器
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进口小型旋涂机-150mm

进口小型旋涂机SPIN150i是150mm单片旋涂机,专为MEMS、半导体、光伏、微流体等领域的研发和小批量生产而设计,适用于所有典型的旋涂工艺:清洁、冲洗/干燥、涂层、显影和蚀刻。
型号:
FPSPS-SPIN150i
品牌:
进口
价格:
¥0.00
类别:
在线客服邮箱 info@f-lab.cn 服务热线  021-2279 9028 您也可网站留言或在线客服留言垂询,辅光仪器-规模型进口精密科学仪器供应商欢迎您!

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进口小型旋涂机SPIN150i是150mm单片旋涂机,专为MEMS、半导体、光伏、微流体等领域的研发和小批量生产而设计,适用于所有典型的旋涂工艺:清洁、冲洗/干燥、涂层、显影和蚀刻。
进口小型旋涂机SPIN150i适用于处理小至5mm、高达150Ø(或6”)或4“x 4”基板的晶圆。可拆卸触摸面板。配方的无限程序存储,每个步骤都有多个(CW & CCW rotation用于浸置式显影旋涂应用的顺时针和逆时针旋转)。
进口小型旋涂机特点
工艺种类齐全,包括旋涂和浸置式显影
结构紧凑,方便实验室防置
大屏幕彩色触摸屏
专为各种光刻化学光刻胶设计
进口小型旋涂机SPIN150i规格参数
程序数:无限制
程序的步进数:无限制
旋涂速度:1-12000rpm (+/-1rpm步)
旋涂速度精度:± 0.1 rpm
旋涂旋转方向:顺时针,逆时针,puddle浸置式
zui大加速度:30000rpm/s 
旋涂时间:无限制
外壳材质:NPP
旋涂室材质:NPP
外部链接:1个USB接口连接控制器
zui大衬底直径:160mm 或4''x4'’方形
zui大旋涂室直径:202mm 
尺寸:274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm
重量:14kg 
供电要求:200-240VAC
zui大功耗:500W
真空:- 65 kPa (-19 inchHg), ≥ 80 lpm Tube OD Ø8mm
 
 

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